超臨界微粒制備裝置在材料、化工、輕工、冶金、電子、生物醫學等領域得到廣泛應用。過去已發展形成了一些常規技術用于制備超細粒子，但這些方法由于各自存在的缺點而制約著其應用。

　　

　　噴霧干燥、超細碾磨的主要缺點是形成的粒子尺寸分布寬，并且只有一小部分的粒子屬于納米范圍。如今，超臨界裝置為超細粉體，特別是熱敏性、具生物活性或具催化活性粉末的制備提供了一條新途徑。

　　

　　純物質在密閉容器中隨溫度與壓力的變化會呈現出液體、氣體、固體等狀態。當溫度和壓力達到特定的臨界點以上時，液體與氣體的界面會消失，液、氣合并為均勻的流體，這就被稱為“超臨界流體”。

　　

　　超臨界流體的特性：

　　

　　超臨界流體同時具備氣、液兩態的雙重性質（二像性）。

　　

　　1、像液體：密度、溶解能力和傳熱系數接近于液體，比氣體大數百倍。它是好的溶劑，可溶解許多固體，包括難溶的樹脂、油污、氮化硅、晶圓和線路板蝕刻后的殘渣等。

　　

　　2、像氣體：黏度、表面張力和擴散系數接近于氣體，擴散速率比液體快約兩個數量級，傳遞速率遠高于液體。

　　

　　超臨界微粒制備裝置可循環使用，從而節省資源與成本。其種類很多，常用的是二氧化碳和水。在眾多的超臨界流體中，二氧化碳具有低的臨界溫度和臨界壓力，它節能環保、原料易得、價格低廉、溶解力強、無毒且阻燃、易于回收利用、產物易純化，適于大規模生產和應用，所以成為目前國內外應用廣的超臨界流體。